Sonnenenergie

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Definition

Die Sonnenenergie kann auf zweierlei Arten genutzt werden: Sonnenkollektoren wandeln das Sonnenlicht in Wärme um. Sie können auch noch diffuses Licht nutzen, brauchen aber eine gewissen Warmlaufzeit. Solarzellen wandeln die Sonnenstrahlen dank einer dünnen Siliziumschicht sofort in Strom um. Sie benötigen allerdings Licht einer bestimmten Wellenlänge. Mehrere Solarzellen werden zu einem Solar- oder Photovoltaik-Modul, mehrere Solarmodule schließlich zu einem Solargenerator gekoppelt.

Das Foto zeigt zwei verschiedene Solargeneratoren zur Stromerzeugung für die Hütte.

Sonnenkollektor und Solarzelle

Auch auf der Alm scheint die Sonne zwar nicht immer, aber sie ist überall auf der Welt für alle da und kann von vielen Anlagen gleichzeitig genutzt werden. Die Kraft der Sonne wird dadurch weder verbraucht noch irgendwie beeinträchtigt. Bei einer umfassenden Nutzung der Sonnenenergie könnte sogar der Kriege ums Öl verhindert werden.

Neben groß angelegten öffentlichen Sonnenfarmen kann jeder Haus- oder Grundbesitzer mit der Photovoltaik dezentral Strom erzeugen ohne die Umwelt zu belasten. Der Strom wird ins öffentliche Netz eingespeist, entsprechend vergütet und reduziert damit den Energiebedarf, der in konventionellen Kraftwerken durch die Verbrennung endlicher, fossiler Brennstoffe entsteht.

In den meisten Fällen erfolgt die Montage der Solarzellen auf dem Dach. Je nach Standort des Hauses und Neigung des Dachs werden sie entweder flach auf die Dachziegel angebracht oder schräg gestellt.

Das linke Bild zeigt außerdem Solarzellen zur Stromproduktion, das rechte Bild Sonnenkollektoren zur Wärmegewinnung.

flache Dachmontage      schräge Dachmontage

Außerdem gibt es freistehende Anlagen, die ihre Position im Tagesverlauf dem Sonnenstand anpassen, um immer die optimale Lichtausbeute zu bekommen. Bilder dazu folgen unten bei den Beispielen.


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Beispiele
Beispiel 1: Photovoltaik-Anlage mit Nachführung
Solaranlage

Diese Anlage steht in Bergham und hat eine Peak-Leistung von 1 kW.

Steuerung

Durch die Nachführung zum Sonnenlauf erhöht sich die Peak-Leistung gegenüber fest aufgeständerten Anlagen um ca. 30 %.

Solaranlage Fuß

Detailansicht von der Rückseite zur Steuerung der Neigung und zur Drehung.


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Beispiel 2: Solarstrom-Nachführanlage 3,5 kWp
Solaranlage

In Straß, nördlich von Bad Endorf, steht diese Solarstrom-Nachführanlage. Die Solarzellen werden in Abhängigkeit vom Sonnenstand vertikal und horizontal gedreht. Das Foto zeigt auch, dass Solaranlagen jederzeit erweitert werden können.

Steuerung

Dieser Sensor an der Oberkante der Photovoltaik-Module steuert die Nachführung der Anlage.

Solaranlage Fuß

Unter Standardbedingungen werden 3,5 kW Nennleistung erzielt. Erzeugt wird Gleichstrom, der dann vom nachgeschalteten Wechselrichter in netzkonformen Wechselstrom umgewandelt wird.


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Standpunkte

Die Sonnenenergie ist eine Energieform, die problemlos von Privatpersonen in kleinem Umfang nutzbar ist. Auf vielen Dächern sieht man inzwischen Sonnenkollektoren oder Solarzellen. Die Technik ist ausgereift, die Montage einfach und die finanziellen Rahmenbedingungen lukrativ.


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Gesetzliche Neuregelung

Förderung des Eigenverbrauchs von Solarstrom
Neuregelung in § 33 (2) EEG 2009


Mit solarerwärmten Wasser zu duschen und zu heizen, wird von Besitzern solarthermischer Anlage aus psychologischer Sicht als besonders angenehm empfunden, erhält man doch den Lohn seiner Öko-Investition direkt als wohlig warmes Gefühl auf der Haut.

Ein ähnlicher psychologischer Investitionsanreiz könnte der Selbstverbrauch des auf dem Dach erzeugten Solarstroms sein. Leider war dies aus wirtschaftlicher Sicht bisher nicht ratsam, da Anlagenbetreiber nur dann eine nach EEG festgelegte Vergütung erhielten, wenn der erzeugte Strom in das öffentliche Netz eingespeist wurde. Diese Situation wird jedoch mit Inkrafttreten des neuen EEG zum 01.01.09 geändert.

Für Solarstromanlagen bis 30 kWp, die ab dem 01.01.2009 angeschlossen werden, bietet der Gesetzgeber in § 33 (2) künftig folgende Möglichkeit an: Anlagenbetreiber können ihren Solarstrom teilweise oder vollständig selbst verbrauchen und erhalten dafür eine festgelegte Vergütung (Inbetriebnahme 2009 = 25,01 Ct/kWh). Den nicht verbrauchten Anteil des erzeugten Solarstroms können sie weiterhin in das öffentliche Netz zum regulären Vergütungssatz (Inbetriebnahme 2009 = 43,01 Ct/kWh) einspeisen. Bedingung hierfür ist, dass der Strom in unmittelbarer räumlicher Nähe von Anlagenbetreibern oder Dritten selbst verbraucht wird und die Höhe des Verbrauchs exakt nachgewiesen wird.
In der Begründung zu § 33 (2) EEG 2009 heißt es hierzu:

"Der Anspruch auf Vergütung für selbst genutzten Strom ist neu in das EEG aufgenommen worden und soll einen Anreiz setzen, Strom aus Erneuerbaren Energien selbst dezentral zu verbrauchen. Statt den erzeugten Strom ins Netz einzuspeisen und im Gegenzug anderen Strom zum Eigenverbrauch aus dem Netz zu entnehmen, wie es heute häufig geschieht, soll eine Eigenenergieversorgung erfolgen.
Die Vergütung für selbst genutzten Strom liegt 18 Cent niedriger als die in Absatz 1 und 2 für Anlagen mit einer installierten Leistung von 30 Kilowatt vorgesehene Vergütung. Grund für die niedrigere Vergütung bei einem Eigenverbrauch ist, dass der Durchschnittpreis für Endkunden nach Angaben des BDEW bei ca. 20 Cent pro Kilowattstunde liegt. Die Kosten, die der Kunde hätte, wenn er den Strom einkaufen würde, müssen bei einer Vergütung von selbst genutztem Strom abgezogen werden. Dies vermeidet übermäßige Gewinne für den Anlagenbetreiber und Kosten für die Stromverbraucher. Dadurch, dass bei der Eigennutzung von Strom letztlich ein geringerer Preis anfällt (da von der Vergütung nur 18 Cent und nicht die üblichen Kosten in Höhe von 20 Cent abgezogen werden), soll ein Anreiz für die Eigennutzung geschaffen werden."


Diese neue Möglichkeit des Eigenverbrauchs könnte für künftige Anlagenbetreiber auch aus finanzieller Sicht von Vorteil sein, denn bereits bei einem Strombezugspreis von 20 Ct/kWh ist es überlegenswert, den Strom selbst zu verbrauchen. Denn - die Summe aus vermiedenen Strombezugskosten (z.B. 20 Ct/kWh) und Eigenverbrauch-Vergütung (25,01 Ct/kWh) liegt bereits über der herkömmlichen Vergütung für Volleinspeisung (43,01 Ct/kWh). Wenn die Strombezugskosten in den nächsten Jahren weiter ansteigen, so wird sich die Summe aus diesen beiden Posten immer weiter erhöhen, da die Vergütung von 25,01 Ct je kWh Solarstrom-Eigenverbrauch die Dauer von 20 Jahren und x Monaten ab Inbetriebnahmezeitpunkt festgeschrieben ist.

Wichtig: Bei der Beurteilung der Rentabilität des Eigenverbrauchs von Solarstrom ist darauf zu achten, dass einige Stromversorger die Höhe der Strombezugskosten an die Verbrauchsmenge koppeln. Ein geringerer Strombezug aus dem öffentlichen Netz - hervorgerufen durch den Solarstrom-Eigenverbrauch - könnte mit höheren Strombezugskosten einhergehen. Es ist daher anzuraten, sich im Vorfeld umfassend zu informieren und solche Stromanbieter zu wählen, bei denen die Tarife unabhängig von der Strombezugsmenge festgelegt werden oder aber bei Niedrigbezug nur geringfügig wachsen.

Anlagenkonzept bei Eigenverbrauch

Wer sich für den Eigenverbrauch von Solarstrom interessiert, muss seine Solarstromanlage so konzipieren, dass der erzeugte Solarstrom in das Hausnetz eingespeist UND in das öffentliche Netz geleitet werden kann. Dieses Anlagenkonzept sollte optimalerweise bereits bei Installation der Anlage oder auch nachträglich innerhalb der nächsten 20 Jahre passieren. Die Anlage muss so installiert sein, dass der Wechselrichter direkt hinter den Solarmodulen angeordnet ist, um den erzeugten Gleichstrom vor Einspeisung in das Hausnetz in Wechselstrom umzuwandeln. Außerdem müssen genaue Nachweise erbracht werden, wie viel Solarstrom eigenverbraucht und wie viel eingespeist werden. Dazu wäre die in der Graphik 1 gezeigte Anordnung der Zähleinrichtungen denkbar.

Grafik 1: Abrechnung des Eigenverbrauchs

Solarzähler (Zs): insgesamt erzeugter Solarstrom
Einspeisezähler (Z1): in das öffentliche Netz eingespeister Solarstrom
Strombezugszähler (Z2): Strombezug aus dem öffentlichen Netz

Abrechnung bei Eigenverbrauch:

Immer dann, wenn man den Solarstrom ganz oder teilweise selbst verbrauchen möchte, muss folgende Abrechnung durchgeführt werden:

(1) Abrechnung des eigenverbrauchten Solarstrom
= (Zs - Z1) * 25,01 Ct

(2) Abrechnung des netzeingespeisten Solarstrom
= Z1 * 43,01 Ct

(3) Abrechnung des Strombezugs (erfolgt durch das Energieversorgungsunternehmen)
= Z2 * Strombezugskosten (z.B. 20 Ct)

Der Einspeisezähler Z1 und der Strombezugszähler Z2 könnten z.B. auch durch einen einzigen Zähler abgedeckt werden, der beide Fließrichtungen getrennt erfasst. Diese Lösung ist anzuraten, da möglicherweise im vorhandenen Zählerschrank für zusätzliche Zähleinrichtungen kein Platz zur Verfügung steht und dann ein kostenintensiver neuer Zählerschrank vom Anlagenbetreiber angeschafft werden müsste. Zu beachten ist dabei jedoch, dass dann auch das Energieversorgungsunternehmen das Recht hat, diesen Zweirichtungszähler zu stellen.

Allgemeine Infos zu Zähleinrichtungen finden Sie unter http://www.sfv.de/stichwor/Stromzae.htm

Abrechnung des Solarstroms bei Volleinspeisung

Wenn Sie den erzeugten Solarstrom zeitweise nicht selbst verbrauchen möchten (z.B. wenn die Strombezugskosten unerwarteter Weise doch sinken), können Sie von der in § 8 Abs. 2 EEG 2009 festgelegten Regelung zur kaufmännisch-bilanzierten Durchleitung durch Arealnetze Gebrauch machen. Die Abrechnung wird - ohne Umbau der technischen Einrichtung - in folgender Weise durchgeführt:

(1) Abrechnung des erzeugten Solarstrom
= Zs * 43,01 Ct

(2) Abrechnung des Strombezugs (erfolgt durch den Energieversorgungsunternehmen)
= Z2 - Z1 + Zs * Strombezugskosten (z.B. 20 Ct)

Solarstrom-Verbrauch durch "Dritte"

Der Gesetzgeber gibt in § 33 (2) EEG 2009 vor, dass auch dann der eigenverbrauchte Solarstrom in Höhe von 25,01 Ct/kWh vergütet werden soll, wenn er durch Dritte verbraucht wird, die sich in unmittelbarer räumlicher Nähe befinden. Diese Lösung könnte für diejenigen interessant sein, die verschiedene Mietparteien im Haus oder weitere in der Nähe befindliche Stromverbraucher mit Solarstrom versorgen wollen. Denkbar wäre auch, dass man am Haus eine Solarstrom-Tankstelle für Elektroautos errichtet und den Strom zum Verkauf anbietet.

Steuerliche Behandlung bei Eigenverbrauch

Anlagenbetreiber haben die Möglichkeit, sich die bei der Investition der Anlage geleistete Umsatzsteuer von 19% zeitnah vom Finanzamt zurückerstatten zu lassen. Im Gegenzug müssen sie die vom Netzbetreiber zzgl. der Einspeisevergütung ausgezahlte Umsatzsteuer regelmäßig an das Finanzamt weiterreichen. Diese steuerliche Variante war für viele Anlagenbetreibern reizvoll, so dass rege davon Gebrauch gemacht wurde.

Das Betreiben einer Photovoltaikanlage wird von den Finanzbehörden als nachhaltige unternehmerische Tätigkeit eingestuft, da man regelmäßig gegen Entgelt Strom ins öffentliche Netz einspeist. Gestützt wird diese Annahme auch durch ein Schreiben des Bundesministeriums der Finanzen zur Umsatzsteuer beim Betreiben von Anlagen zur Stromgewinnung im Privathaushaltsbereich vom 23.07.2001 (Aktenzeichen IV B 7 - S 7104 21/01). In dem Schreiben heißt es u.a.: "... Soweit der Betreiber einer unter § 3 bis 8 EEG fallenden Anlage zur Stromgewinnung den erzeugten Strom ganz oder teilweise, regelmäßig und nicht nur gelegentlich in das allgemeine Stromnetz einspeist, dient diese Anlage ausschließlich der nachhaltigen Erzielung von Einnahmen aus der Stromerzeugung. Das Betreiben einer solchen Anlage durch sonst nicht unternehmerisch tätige Personen ist daher unabhängig von der leistungsmäßigen Auslegung der Anlage und dem Entstehen von Stromüberschüssen eine nachhaltige Tätigkeit und begründet die Unternehmereigenschaft. ..."

Da durch einen Eigenverbrauch von Solarstrom nur noch "gelegentlich" Strom in das allgemeine Stromnetz eingespeist wird, könnte möglicherweise das Betreibern der Solarstromanlage von Finanzämtern nicht mehr als nachhaltige unternehmerische Tätigkeit anerkannt werden.

Der SFV vertritt jedoch den Standpunkt, dass Anlagenbetreiber, unabhängig davon - ob sie ihren Strom selbst verbrauchen oder vollständig einspeisen - die Umsatzsteuer geltend machen können. Entscheidend ist alleine die Tatsache, dass regelmäßige Einnahmen erzielt werden, gleichgültig ob die 43,1 Ct/kWh bei Volleinspeisung oder die 25,01 Ct/kWh bei Eigenverbrauch.

Nach unserem Kenntnisstand laufen derzeit Gespräche zwischen dem Bundesumweltministerium, dem Finanzministerium und den Ländern, um eindeutige Anweisungen an die Finanzämter zu erarbeiten. Das BMU wird die Ergebnisse auf seiner Internetseite veröffentlichen. Auch der SFV wird weiter darüber berichten.


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NF3 - das vergessene Treibhausgas

NF3 - das vergessene Treibhausgas

Kürzlich ging eine Debatte durch die Medien zu NF3 - Stickstoff-Trifluorid. Dieses Gas werde für die Herstellung von Solarzellen benötigt und sei extrem klimaschädlich. Während seriöse Medien wie GEO [4] sich auf diese Feststellung beschränken, wird von weniger seriösen Publizisten schon der Nutzen von Solarzellen in Frage gestellt, denn womöglich würde durch die Herstellung von Solarzellen das Klima mehr geschädigt, als durch ihren Betrieb geschont. Was ist der Hintergrund in dieser Debatte?

Die Treibhauseigenschaften von NF3

Die Debatte wurde im Sommer dieses Jahres losgetreten mit einer Fach-Veröffentlichung durch zwei amerikanische Wissenschaftler [1]. Sie berichten die in der Fachwelt schon länger bekannte Tatsache, dass NF3 tatsächlich ein großes Potential zur Klimaschädigung hat: Seine Treibhauswirkung ist zwischen rund 10 000 und 20 000 mal stärker als dieselbe Menge Kohlendioxid (CO2), und seine Lebensdauer in der Atmosphäre beträgt zwischen 550 und 740 Jahren, je nachdem, welche Annahmen man trifft. Sie weisen insbesondere darauf hin - und das ist die Kernaussage der Veröffentlichung - dass NF3 nicht in der Liste klimaschädlicher Stoffe aufgeführt wird, die im Anhang des Protokolls der Klima-Vereinbarung von Kyoto zu finden ist. Die Emissionen werden daher weder protokolliert noch kontrolliert. Sie weisen ferner darauf hin, dass die geschätzte Menge von rund 4000 t an jährlich produziertem NF3 aufgrund der starken Treibhauswirkung durchaus klimarelevant sein kann. Die sich daraus ergebende Forderung nach einer Kontrolle von NF3 ist durchaus nachvollziehbar, insbesondere da die Verbrauchszahlen von NF3 weiter wachsen.

Verwendung

NF3 wird seit der Jahrtausendwende verstärkt in der Halbleiterindustrie angewandt. Seit dieser Zeit ersetzt der NF3-Prozess wesentlich klimaschädlichere Verfahren mit CF4 oder SF6 und führt zu einer Reduktion von 88 % der vergleichbarer Emissionen [3]. Zur Zeit des Kyoto-Protokolls (1995) war NF3 industriell noch nicht relevant und wurde daher nicht in den Anhang aufgenommen.

NF3 wird nicht bei kristallinen Solarzellen verwendet

Man verwendet NF3 nahezu ausschließlich in der Halbleiterindustrie in Dünnschicht-Aufdampfanlagen (CVD-Anlagen). Diese werden eingesetzt bei der Herstellung von Halbleiterchips, aber insbesondere auch von Flachbildschirmen. Bei Solarzellen werden sie nur bei Dünnschicht-Solarzellen verwendet. Bei der Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen wird NF3 nicht eingesetzt.

Es wird benötigt, um die Reaktionskammern der Aufdampfanlagen regelmäßig von Rückständen zu reinigen [2]. Man erzeugt dazu ein hochreaktives Plasma mit NF3. Das führt dazu, dass 97 % bis 99 % des NF3 in klima-unschädliche Produkte zerlegt wird. Man kann also davon ausgehen, dass lediglich etwa 1 % bis 3 % der hergestellten Menge NF3 tatsächlich in die Atmosphäre gelangt.

NF3 wird auch nicht zwingend bei allen Dünnschichtprozessen benötigt, sondern nur bei einigen. Wie Prof. Heuken von der RWTH Aachen als Spezialist für Dünnschichttechnologien erläutert, gebe es auch andere Reinigungsverfahren ohne NF3 oder eventuell die Möglichkeit, den Prozess so zu fahren, dass eine Reinigung nicht notwendig wird. Das ist allerdings nicht grundsätzlich für alle Prozesse möglich, sondern muss im Einzelfall geprüft werden. Des Weiteren gebe es die Möglichkeit, Restgase in einem speziellen Zusatzgerät ("Scrubber") in unschädliche Bestandteile zu zerlegen, so dass die Restmenge NF3 weiter verringert wird.

Aus diesen Gründen kann die entwichene Menge NF3 auch bei der Herstellung von Dünnschichtsolarzellen von Typ zu Typ und von Hersteller zu Hersteller stark variieren. Man kann daher nicht einfach angeben, wie viel NF3 zur Herstellung eines Quadratmeters von Dünnschicht-Solarzellen benötigt wird.

Es ist leider nicht einmal bekannt, wie viel der jährlich hergestellten Menge NF3 in der Produktion von Dünnschicht-Solarzellen verwendet wird.

Relevanz

Die Relevanz des Problems ergibt sich aus dem Vergleich mit anderen klimarelevanten Emissionen. Wenn alle pro Jahr hergestellten 4000 t NF3 in die Atmosphäre gelangten, entspräche das auf Grund der extremen Treibhauswirkung von NF3 der Klimawirkung von 67 Mio t CO2 [1]. Dies wäre der "Worst Case". Tatsächlich ist jedoch eher anzunehmen, dass aufgrund der üblichen Prozessführung etwa 1% bis 3% davon in die Atmosphäre gelangen. Dies entspräche 0,67 bis 2,1 Mio t CO2 pro Jahr.

Tabelle 1: Vergleich der Relevanz von Klimagasen und Emissionen,
nach [1] und abgeschätzt (*)


*) Eigene Abschätzungen (siehe Text)

Tabelle 1 listet diese Daten im Vergleich zu anderen klimarelevanten Emissionen auf. Im Vergleich zur Summe der Emissionen der 6 wichtigsten Klima-Gase bzw. -Gasgruppen (SF6, PFCs, HFCs, N2O, CH4, CO2) betragen die vermutlichen Emissionen von NF3 gerade einmal 0,0037% bis 0,012%, sind also noch kaum wahrnehmbar. Sollte die gesamte hergestellte Menge NF3 in die Atmosphäre gelangen, so würde dies etwa 0,37% an den Emissionen ausmachen.

Auch im Vergleich mit konventionellen Klimasündern scheint NF3 wenig klima-relevant zu sein: Das Treibhauspotential der jährlich vermutlich entwichenen Menge entspricht etwa 6 % des jährlichen Ausstoßes des weltgrößten Kohlekraftwerks (3,6 GW, Tuoketuo-1, China).

Deutlich relevanter fällt allerdings der Vergleich mit den durch Solarzellen eingesparten CO2-Emissionen aus. Um die weltweiten CO2-Einsparungen durch Solarzellen abzuschätzen, werden folgende Annahmen getroffen: Die weltweite Solarzellen-Produktion 2008 wird nach verschiedenen Internetberichten auf ca. 2 GWp geschätzt. Von dieser Gesamtmenge werden etwa 10% als Dünnschichtzellen angenommen. Zum Abschätzen des Einsparpotentials wird eine jährliche Stromproduktion von 800 kWh/kWp zu Grunde gelegt. Weiterhin wird eine Einsparung von 0,55 kg CO2/kWh im Vergleich zum konventionellen Strom-Mix angenommen. Diese beiden Werte gelten für Deutschland und werden hier zur Abschätzung weltweit verwendet. Mit diesen Angaben werden die eingesparten Emissionen über einer Lebensdauer von 20 Jahren berechnet. Benötigte Energie zur Herstellung wird nicht berücksichtigt, da es hier nur um die Größenordnung gehen soll.

Mit diesen Annahmen ergibt sich für die gesamte weltweite Jahresproduktion von Solarzellen ein CO2-Einsparpotential von 17,6 Mio t CO2 über die Lebensdauer von 20 Jahren und für die Dünnschichtzellen entsprechend 1,76 Mio t CO2. Obwohl diese Zahlen nur eine grobe Abschätzung darstellen (und bitte nicht bis auf die Kommastelle gezählt werden sollen), zeigt sich, dass die Emissionen von NF3 durchaus in der selben Größenordnung wie die CO2-einsparungen von Dünnschichtzellen liegen können.

Der Vergleich der Zahlen zeigt nur (aber auch nicht weniger), dass das Problem NF3 nicht vernachlässigbar ist und dringend genauerer Untersuchung bedarf. Wichtig ist es, eventuelle Emissionen von NF3 bei der Dünnschicht-Solarzellenproduktion zu unterbinden.

Fazit

Aufgrund des hohen Potentials als Klimaschädling sollte NF3 möglichst bald in die Kyoto-Liste aufgenommen werden und dessen Emissionen kontrolliert werden. Es müssen technische Maßnahmen vorgeschrieben werden, die ein Entweichen von NF3 in die Atmosphäre verhindern.

Zur Zeit sind die tatsächlichen Emissionen im Vergleich zu anderen klimaschädlichen Ausstößen sehr gering. Aber die Untersuchungen zeigen, dass die Klimawirkung von NF3 nicht zu vernachlässigen ist und in der selben Größenordnung liegt wie das CO2-Einsparpotential von Dünnschicht-Solarzellen.

Es ist unbekannt, wie viel Emissionen von NF3 bei der Produktion von Dünnschichtsolarzellen erfolgen und wie viel bei anderen Produkten (z.B. Flachbildschirmen). Daher ist es ganz wichtig, die benötigte Menge und die Wirkung von NF3 bei der Dünnschicht-Solarzellenproduktion näher zu untersuchen.

Kurz und knapp

Referenzen

[1] Michael J. Prather, Juo Hsu, "NF3, the greenhouse gas missing from Kyoto", Geophysical Research Letters, Vol. 35, p. L12810, 2008
[2] Andrew D. Johnson, William R. Entley, Peter J. Maroulis, "Reducing PFC gas emissions from CVD chamber cleaning", Reprint with revisions from: Solid State Technology, Dec. 2000.
[3] Andrew D. Johnson, Peter J. Maroulis, and Mark I. Sistern, "Environmental Aspects of Solar Cell Manufacturing: Maintaining the Global Warming Advantage", Poster information by the manufacturer Air Products and Chemicals, Inc.
[4] GEO 11/ 008, S185



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